五金蝕刻金屬預處理階段

　　板材清潔：使用堿性溶液去除表麵油脂

　　酸（suān）洗處（chù）理：鹽酸或硫酸溶液清（qīng）除氧化層

　　水洗流程：三級（jí）逆流漂洗去除殘留藥劑

　　表麵粗化：噴砂或（huò）化學研磨增加（jiā）附著力

　　五金蝕刻（kè）圖形轉移工序

　　塗（tú）布作業：輥塗或噴塗光敏抗蝕劑

　　預烘處理：80-100℃烘箱幹燥5-8分鍾

　　曝光成像：紫外光通（tōng）過底片照射10-30秒

　　顯影操（cāo）作：碳（tàn）酸鈉（nà）溶（róng）液溶解未曝光區域

　　堅膜固化：150-180℃熱處理20分鍾

　　化學蝕刻過程

　　溶液配置（zhì）：三氯化鐵濃度28-42Be'

　　溫度控製：保持40-50℃恒溫槽

　　噴淋壓力（lì）：0.2-0.5MPa可調係（xì）統

　　時間設定：根據（jù）深度要求調整1-15分鍾

　　蝕（shí）刻監控：實時測量線寬與深度

　　後處理步驟

　　阻蝕層剝離：氫氧化鈉溶液浸泡去膜

　　表麵鈍化（huà）：鉻酸鹽或電解拋光處理

　　尺寸（cùn）檢測：投影儀測量關鍵尺寸（cùn）

　　包（bāo）裝存儲：真空防氧化包裝

　　關鍵技術參（cān）數

　　蝕刻速率：0.01-0.05mm/min

　　側壁錐度：45±5度標準值

　　最小孔徑：板厚（hòu）1/3可達

　　位置公差：±0.02mm範圍

　　設備組成

　　前（qián）處理線：脫（tuō）脂槽-水洗槽-酸洗槽

　　塗布機：精（jīng）密計量泵控製係統

　　曝光機：平（píng）行光紫外光源係統

　　蝕（shí）刻機：鈦合金噴淋腔（qiāng）體結構

　　檢測台（tái）：CCD自動（dòng）對位測量（liàng）儀

　　工藝控製要點

　　溶（róng）液比重每（měi）小時檢（jiǎn）測一次

　　抗蝕劑厚度控製在5-8μm

　　顯影時（shí）間誤（wù）差不超過±3秒

　　蝕刻液（yè）銅離子含量<25g/L

　　水洗電導率維持在50μS/cm以下