生物醫學（xué）器件的功能實現依賴蝕刻工藝對生物相容性（xìng）材料的精密加工，推動診斷與治（zhì）療技術革新。

微針陣列貼片加工
可溶解微針采用濕法蝕刻成（chéng）形。羧甲基纖維素基材通（tōng）過光刻膠定義針尖結（jié）構後，磷酸緩衝溶液選擇性腐蝕非保護區域，形成高度200微米的錐形微針。工藝（yì）關鍵在控製溶液滲透速率，確保針尖力學強度與溶解速率的平衡。金屬微針（zhēn）陣列則采用鈦箔光刻蝕刻工藝，氫氟酸與硝酸混合液實現各向同性腐（fǔ）蝕，針尖曲率半徑（jìng）小於（yú）1微米，突破皮（pí）膚屏障效率提（tí）升50%。

血管支架表麵結構化（huà）
鈷鉻合金支（zhī）架的載藥微坑通過光（guāng）誘導電化學蝕刻加工。紫外（wài）光通過掩膜照（zhào）射支架表麵，引（yǐn）發電（diàn）解液中的局部（bù）氧化還（hái）原反應，形成深度5微米的規則凹槽。該（gāi）方（fāng）法避免機械加工導（dǎo）致的材料疲勞，且可通過調節光照時間精確控製載藥量。生物可降解鎂（měi）合金支架則（zé）采用磷酸蝕刻液加（jiā）工表麵多孔（kǒng）結（jié）構，孔隙率調控範圍（wéi）達30%-70%，實現降解速率與（yǔ）組織修複速度匹配。

器（qì）官芯（xīn）片微流道製造
PDMS材料（liào）的氧等離子體蝕刻是微流道加工主流方案（àn）。等離子體中的活性氧原子與PDMS表麵反（fǎn）應生成二氧化矽層，通過顯影去除未曝光區（qū）域形成流道（dào）結構。玻璃基器官芯（xīn）片（piàn）采（cǎi）用氫氟酸氣（qì）相蝕刻，通過控製反應室濕度與溫度實現1微米級深度精度，確保細（xì）胞培養（yǎng）環境的流體力學一致性。