以下是五金蝕刻技術的核心細節說明，涵蓋工藝流程、參數控製及關鍵技術要（yào）點：

　　材料選（xuǎn）擇與預處理‌

　　適（shì）用材料‌：不鏽鋼(SUS304/SUS316)、銅合金(C5191磷銅)、鋁材(5052/6061)、鈦合金及鎳基合金，厚（hòu）度範圍0.05–3.0mm。

　　表麵處理‌：

　　脫脂：堿性溶液(NaOH 100–150g/L，溫（wēn）度50–80℃)超聲清洗3–5分鍾。

　　酸洗：硝酸或鹽酸去除氧化（huà）層，銅材需退（tuì）火處理(300–500℃)以消除內（nèi）應力。

　　平整度要求：≤0.1mm/m，表麵油脂殘留≤0.1mg/cm²。

　　圖形轉（zhuǎn）移工藝‌

　　掩膜製作‌：

　　光刻（kè）膠塗布：旋塗法(轉速3000rpm對（duì）應膠厚1μm)或噴塗法，膠層厚度8–30μm。

　　曝光：紫外光（guāng）(波長365nm，能（néng）量50–80mJ/cm²)通過掩膜板轉移圖案，定位誤差≤±2μm。

　　顯（xiǎn）影（yǐng）：正膠用NaOH溶液，負膠(如SU-8)保留曝光區，顯影時間40–60秒。

　　五金蝕刻液配方與參（cān）數‌：

　　| 材（cái）料 | 蝕刻液成分 | 溫度(℃) | 速率(mm/min) | 深度控製方式 |

　　|-------------|-----------------------|----------|--------------|----------------------|

　　| 銅 | FeCl₃(28–32波美度) | 40–50 | 0.02–0.06 | 時間控製(±0.01mm) |

　　| 不鏽鋼 | HNO₃=3:1 | 45–50 | 0.05–0.10 | 噴淋（lín）壓力調（diào）節 |

　　| 鋁 | NaOH堿性溶液 | 50–60 | 0.03–0.08 | 濃度監測儀 |

　　精度控製技術‌

　　側蝕抑製‌：

　　添加緩蝕劑(如醋酸)降低橫向腐蝕，側壁垂直度達85–89°。

　　噴淋蝕刻設備減少溶液滯留，提升均勻性(波動≤±5%)。

　　微（wēi）結構能力‌：

　　最小線寬0.02mm，孔徑0.03mm(密度（dù）≥800孔/cm²)。

　　深寬比1:3，適用於微通道、異（yì）形濾（lǜ）網。

　　後處理關鍵步驟‌

　　去膜‌：

　　有機掩膜：丙酮浸泡或氧等離子體灰化。

　　無機掩膜(如Ti/Au)：碘伏溶液腐蝕去除。

　　表麵強化（huà）‌：

　　電解拋光：降低粗糙度至Ra≤0.1μm。

　　鈍（dùn）化處理：鉻酸鹽溶液(濃（nóng）度3–5%)提升耐蝕性。

　　功能性鍍層：電鍍（dù）鎳/金增強（qiáng）導電性(電子部件)。

　　環保與（yǔ）效率優化‌

　　廢（fèi）液處理‌：

　　中和沉澱（diàn）(碳酸鈉調節pH)，銅離子濃度≤0.5mg/L。

　　工藝創新‌：

　　納米（mǐ）壓印替代（dài）光刻，分辨率提升至50nm。

　　幹法蝕刻(等離子體)減少化學廢液，用（yòng）於MEMS器件。

　　以上數據（jù）基於行業標準工藝及設備參數，實際應用需根據材料特性調整溶液（yè）配（pèi）比與時間。