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解決鋁的光化學蝕刻—上篇

文章出處:未知 人氣:發表時間:2023-05-20 14:43

  鋁的加工

  鋁的密度低,再加上其他特性,如優異的(de)導熱導電材料,使其成為電纜和熱交換器的優選材(cái)料。但加工這種金屬時,這種特性也(yě)成為唯一致(zhì)命的(de)弱點。如,光化學蝕刻工藝中,鋁會與腐蝕性化學品反應,開始放熱,釋放出(chū)來熱能。這會對光化學蝕刻工藝的效率和準確(què)性造成次生(shēng)的、附(fù)帶的影響。因此,由於鋁的放熱(rè)性,阻礙了對(duì)鋁的光化學蝕刻(kè)工藝的有效使用。同時,由於鋁具有耐(nài)腐蝕性,而光化學腐蝕又是一種基於選擇性腐蝕的加工工藝。

  鋁是兩性(xìng)的,可與酸(suān)類或堿類物質(zhì)反應。因此,可用酸性酸性或堿性蝕刻劑進行光化學加工,但兩種應用都存在挑戰。

                                

  嚴格的工藝控製是成功進行光(guāng)化學(xué)蝕刻的關鍵。鋁在蝕刻過程中的高放熱反應(yīng),有時會破壞光學工工(gōng)具,導致蝕刻比較粗糙。事實上,放熱反應(yīng)會導致防蝕劑被抽離鋁板,蝕刻劑從防(fáng)蝕(shí)刻劑下麵滲出,影(yǐng)響蝕刻效果,導致粗糙的、鋸齒狀的、粒狀蝕刻邊緣,遠非光化學蝕刻工藝通常具有的光滑、平直的蝕刻外形。

  對鋁進行有效(xiào)蝕刻的(de)有些研究側重於所使用的蝕刻劑,另一些則關(guān)注溫度控製,而更多的是對金(jīn)屬進(jìn)行清(qīng)潔和準備。

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