精密蝕刻加工材料技術（shù）參數

　　適用材料：304不鏽鋼（gāng）/黃銅/鋁（lǚ）箔

　　厚度範圍：0.02-1.0mm

　　硬度要求：HV150-350

　　表麵粗糙度：Ra0.1-0.4μm

　　核心工藝流程

　　前（qián）處理階段

　　脫脂液濃度5-8%

　　溫度（dù）控製45±2℃

　　時間設定（dìng）4-6min

　　圖形轉（zhuǎn）移工藝

　　光刻膠厚度8-15μm

　　曝光量100-180mJ/cm²

　　顯影速度0.3-0.8m/min

　　精密（mì）蝕刻控製

　　蝕刻（kè）液溫度40±1℃

　　傳送速度0.3-1.0m/min

　　深度控製±0.005mm

　　精度指標要求

　　項目標準值檢測設備線寬公差±0.01mm激光顯微鏡位置精度（dù）±0.015mm光學坐標儀垂直度≤0.3°電子角度尺表麵質量無殘留SEM檢測

　　典型應用數（shù）據

　　電子（zǐ）元器件

　　最小線寬0.02mm

　　蝕刻深度0.03-0.2mm

　　批量一致性±0.003mm

　　醫療（liáo）器械

　　孔徑（jìng）公差±0.008mm

　　邊緣銳度（dù）≤0.005mm

　　良品率≥99.5%

　　光學器件

　　表麵平整度≤0.1μm

　　圖形重複精度（dù）±0.01mm

　　加工周期3-5天

　　環境控製標準

　　潔淨車間

　　溫度23±1℃

　　濕度45±5%RH

　　顆粒度Class 1000

　　工藝介質

　　純水電阻率≥18MΩ·cm

　　壓縮空氣露點-40℃

　　氮氣純度99.999%

　　設備技術參數

　　精（jīng）密蝕（shí）刻（kè）機

　　定位精度±1μm

　　溫度波動±0.5℃

　　速度控（kòng）製±0.01m/min

　　檢測係統（tǒng）

　　測量分（fèn）辨率0.1μm

　　重複精度±0.3μm

　　掃描速度50mm/s