醫療微器件的微型化與功能集成，推動蝕刻技術向生物（wù）相容性與超高精度突破，成為微流控芯片、植（zhí）入式傳感器等領域的核心（xīn）工藝。

微流（liú）控芯片（piàn）的蝕刻創新

• 玻（bō）璃微通道加工：采（cǎi）用氫氟酸（HF）氣相蝕刻，在0.5 mm厚硼矽玻璃（lí）上加工寬50 μm、深200 μm的蛇形通道，表麵粗糙度Ra＜0.1 μm，確保細胞培養無殘留。

• PDMS模具複刻：通過矽母模（mó）幹法蝕刻（SF₆/O₂等離子體）形成微結構，複製PDMS芯片用於DNA分離，分離效率提升至95%（傳統方法80%）。

植入式醫療器（qì）械加工

• 鈦合金表麵蝕刻：HNO₃/HF混合液蝕刻鈦合金骨板，形成5-10 μm多孔結構，促進骨細胞附著，愈合（hé）周（zhōu）期縮短30%。

• 可降解鎂合金蝕刻：檸檬酸蝕刻液在鎂合金（jīn）血管支（zhī）架表麵加工微凹坑，調控降解速率至0.2 mm/年，避免過早失效。