蝕刻工藝的良率提（tí）升依（yī）賴對缺陷的精（jīng）準識別與溯源（yuán），智能化檢測技術正成為行業剛需。

典型（xíng）缺陷類型與成因（yīn）

智能檢測技（jì）術應（yīng）用

• AI視覺分（fèn）揀：深度學習模型識別SEM圖像中的缺陷，分（fèn）類準確率＞99%，檢測速度500片/小時。

• 光譜（pǔ）實時監控：OES（光學發射光譜）監測等離（lí）子（zǐ）體中的F*（703 nm譜線），動（dòng）態調整蝕刻終點，過刻蝕（shí）率降低至0.1%。