蝕刻工藝在泛半導體領域的(de)跨界創新(xīn)
蝕刻技術早已突破傳統半(bàn)導體邊界,在新能源、顯示麵板甚(shèn)至生物醫療(liáo)領域(yù)開辟了新戰場。
光伏(fú)電(diàn)池的效率躍升
在PERC太(tài)陽能電池中,背麵鈍化(huà)層的開槽工藝依賴激光與化學蝕刻的結合,將(jiāng)光(guāng)電轉化效率提升至23%以上。而新(xīn)興的異質結(HJT)電池則通過濕(shī)法蝕刻在矽表麵形成(chéng)納米級絨麵,減少光反射損失。
顯示(shì)麵板的視覺革(gé)命
OLED屏幕的像素定義層需通過精(jīng)細(xì)蝕刻形成微米級開口,確保每個子像素的精準發光。Mini LED背光板中,蝕刻技術用於加工數千個獨立控光單(dān)元,實現HDR級別(bié)的對比度。
生物芯片的微世(shì)界構建
微(wēi)流(liú)控(kòng)芯片的通道與反應腔通過深(shēn)矽蝕刻或(huò)玻璃蝕刻製成,可完成細胞分選、DNA擴增等操作。某研究團隊利用各向異性(xìng)蝕(shí)刻在PDMS材料上加工出仿生(shēng)血管(guǎn)網絡,為器官芯片奠定基礎。
柔性電(diàn)子的未來藍圖
在可(kě)折疊手(shǒu)機中,蝕刻工藝用於加工超薄聚(jù)酰亞胺基板(bǎn)上的銅(tóng)線路。激光誘導前向轉移(LIFT)技(jì)術結合(hé)蝕刻,可在柔性襯底(dǐ)上實現10微米線寬(kuān)的電路圖案。
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